- 接液部位採用 316L 不鏽鋼
- 不鏽鋼外殼經電解拋光
- 量測系統經氦氣測漏
- 依氧氣用途要求清潔
- 可選 1½ 吋或 2 吋錶徑
WIKA 半導體與高純度壓力量測
提供半導體與超高純度製程使用的 WIKA 壓力量測儀器，包括迷你隔膜式壓力錶、流通式壓力錶、校驗用壓力錶、EtherCAT 壓力傳送器，以及液態化學品使用的 HYDRA 系統。請依製程介質、接液材質與安裝接頭選擇適合的型號。WIKA 產品僅在台灣銷售。
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型號：130.15不鏽鋼波登管壓力錶－高純度 HP 型
型號：230.15指針壓力錶－VCR高純度型
- 與 VCR® 相容的面密封配件
- 氦氣洩漏測試
- 電鍍外殼
- 製程連接表面光潔度 Ra ≤ 0.25 μm
型號：332.54-UHP全不鏽鋼波登管校驗用壓力錶－UHP 型
- 不鏽鋼結構
- 可拆式錶圈，便於維護
- 鏡面刻度環及可微調指針
- 依 NIST 要求進行校正
- 依 ASME 要求進行氧氣用途清潔
型號：432.10、432.15迷你隔膜式壓力錶－超高純度型
- 小型隔膜結構，適合有限的安裝空間
- 低內部容積，有助於減少微粒滯留
- 氦氣洩漏率 ≤ 10⁻⁹ mbar · l/s
- 量測腔與隔膜表面經電解拋光，Ra < 0.25 μm
- 316L 製程接頭搭配金屬密封及軌道焊接量測腔
型號：432.25.2流通式隔膜壓力錶－超高純度型
- 無死角的流通式量測腔
- 介質流道便於沖洗
- 氦氣洩漏率 ≤ 10⁻⁹ mbar · l/s
- 外殼及量測腔經電解拋光，Ra ≤ 0.25 μm
- 提供超高純度氣體系統接頭
型號：HYDRA-Gauge (HG)HYDRA 超高純度壓力錶－液態化學品用
- 雙隔膜隔離系統
- PFA 與 mPTFE 接液元件
- 不鏽鋼壓力錶，黑色 Teflon 塗層
- 安裝後壓力錶可旋轉 360°
- 可選電子警報接點
型號：HYDRA-Sensor（HS）HYDRA 超高純度壓力傳送器－液態化學品用
- 雙隔膜隔離系統
- PFA 與 mPTFE 接液元件
- 4 ... 20 mA 輸出，二線式系統
- 安裝後傳送器可旋轉 360°
- IP65 或 IP67；可選外接式顯示器
型號：iWU-20、iWU-25、iWU-26本質安全型超高純度壓力傳送器
- 提供 Ex ia IIC 本質安全配置
- 精巧外殼適合有限安裝空間
- 側面零點調整裝置具 IP67 防護
- 電子屏蔽降低干擾
- 主動溫度補償維持穩定量測
型號：WU-20、WU-25、WU-26超高純度壓力傳送器－類比輸出型
- 電子式壓力量測搭配類比訊號
- 採真空參考以維持穩定讀值
- 干擾屏蔽與訊號雜訊抑制
- 主動溫度補償因應操作變動
- 單端式、流通式與表面安裝型
型號：WUC-10、WUC-15、WUC-16精巧型超高純度壓力傳送器－危險區域用
- 精巧外型，安裝高度低
- 316L 接液接頭經電解拋光
- 側面可操作零點調整
- 主動溫度補償因應溫度變動
- 提供危險區域使用的防爆版本
型號：WUD-20、WUD-25、WUD-26超高純度壓力傳送器－內建顯示型
- 可旋轉 LED 顯示器提供現場讀值
- 類比輸出便於系統監控
- 可選可程式化開關輸出
- 採真空參考與干擾屏蔽
- 主動溫度補償因應氣體條件變動
型號：WUD-20-E、WUD-25-E、WUD-26-E超高純度壓力傳送器－顯示型、EtherCAT 介面
- EtherCAT 介面，採用 SDP 5003.2080
- 現場壓力顯示與主動溫度補償
- 可傳輸壓力、溫度及診斷資料
- 支援韌體傳輸與熱插拔
- 雙 RJ45 連接埠，支援線路備援